Pregled proizvoda
Ovaj čistač pojedinačnih pločica napravljen je posebno za rad na poluvodičkim pločicama-i pokriva sve od formata od 8 inča do 12 inča, bez izuzetaka. Svaki model dolazi sa preciznim kontrolama procesa (misli se na grijanje, koncentraciju, brzinu protoka) i SECS/GEM komunikaciju, tako da je njegova integracija u pametne fabrike laka. Još bolje, potpuno je konfigurabilan da odgovara onome što je potrebno vašoj aplikaciji.
Evo kako izgleda serijal:
SWC 100 :
Dizajniran sa 12-inčnim pločicama na umu. Ima 8 komora i radi sa 4 FOUP-a, rukovanje svim standardnim mokrim procesima koji su vam potrebni svakodnevno-.
SWC 200:
Još jedna fokusirana opcija od 12 inča, ali sa pojačanjem od 12 komora umjesto 8, plus 4 FOUP kompatibilnost. Osnovni procesi? Potpuno isto kao SC3100, tako da nema nove krivulje učenja.
SEC Plus:
Fleksibilan iz gomile. Radi sa 8-inčnim i 12-inčnim pločicama podjednako, a možete prilagoditi broj komora od 2 do 8. Savršeno za uređaje za napajanje i procesne postavke bazirane na silikonu.
Prednosti
◆ Fleksibilnost formata i konfiguracije
SWC100 / SWC 200: Fiksni nosač od 12- (8/12 komora) za standardnu proizvodnju velikog obima.
SEC Plus: kompatibilnost od 8–12-inča + prilagodljive komore, prilagođavanje tokovima rada uređaja mješovitog formata/napajanja.
◆ Precizna kontrola procesa
Svi modeli: kontrola grijanja/koncentracije/protoka/pritiska, plus opcione hemije (DHF, SC1, itd.) i 3ea mlaznice za jednoliku obradu.
SEC Plus: Dodato odvajanje kiselina/baza/organskih izduvnih gasova + hemijska rekuperacija, povećavajući sigurnost i ekonomičnost.
◆ Široka kompatibilnost
SWC100 / SWC 200: Podrška za 4FOUP nosača za 12-inčnu fab integraciju.
SEC Plus: 2–4 otvorene kasete/SMIF/FOUP kompatibilnost, uklapanje naslijeđenih i modernih proizvodnih linija.
Prijave
SWC100 / SWC 200 (12-inčne pločice)
Osnovni procesi: RCA čišćenje, GATE čišćenje, oksidno jetkanje / skidanje, uklanjanje fotorezista.
Specifične upotrebe: uklanjanje čestica/metala/organske kontaminacije, pre/post{0}}čišćenje, čišćenje Al/Cu interkonekata (za logičke/memorijske čipove).
SEC Plus (8-12-inčne pločice)
Ciljni uređaji: uređaji za napajanje od silicijum karbida/silicijum, procesni uređaji na bazi silicijuma{0}}.
Specifični procesi: razrjeđivanje/čišćenje stražnje strane, čišćenje tankih pločica, visoko{0}}nagrizanje H3PO4 na visokoj temperaturi, plus standardno uklanjanje kontaminacije i čišćenje međukonektora.
Parameters
|
Specifikacija |
SWC100 |
SWC 200 |
SEC Plus |
|
Veličina oblatne |
12 inča |
12 inča |
8-12 inča |
|
Chambers |
8 komora |
12 komora |
2-8 komora (prilagodljivo) |
|
Kompatibilnost operatera |
4FOUP |
4FOUP |
2-4 Otvorite kasetu/SMIF/FOUP |
|
Podržane hemije |
DHF,SC1,SC2,DIO3,DICO2,IPA,N2 |
DHF,SC1,SC2,DIO3,DICO2,IPA,N2 |
Etchant,SC1+Megasonic,DHF,DICO2,N2 |
|
Funkcije kontrole procesa |
Kontrola grijanja/koncentracije/protoka/pritiska |
Kontrola grijanja/koncentracije/protoka/pritiska |
Kontrola grijanja/koncentracije/protoka/pritiska |
|
Podrška za snabdevanje hemikalijama |
N/A |
N/A |
CCSS,LCSS |
|
Upravljanje izduvnim gasovima |
N/A |
N/A |
Odvojeni auspuh (kiselina/baza/organski) |
|
Dodatne karakteristike |
N/A |
N/A |
Chemical reclaim; zaštita od pregrijavanja kade; curenje |
|
Communication Protocol |
SECS/GEM |
SECS/GEM |
SECS/GEM |
FAQ
Koje veličine pločice podržavaju ovi modeli?
SWC100 / SWC 200 podržavaju samo 12-inčne pločice; SEC Plus je fleksibilan za pločice od 8–12 inča.
Koja je razlika između SWC100 i SWC 200?
Oni dijele iste procesne mogućnosti od 12--SC3100 ima 8 komora, dok se SWC 200 proširuje na 12 komora za veću propusnost.
Koji model je prikladan za obradu energetskih uređaja?
SEC Plus je optimizovan za uređaje sa silicijum karbidom/silicijumskim napajanjem (podržava stanjivanje sa zadnje strane, visoko{0}}nagrizanje H3PO4).
Mogu li se ovi sistemi povezati na MES naše fabrike?
Da-svi modeli u potpunosti podržavaju SECS/GEM komunikacijski protokol za fabričku integraciju.
Podržava li SE serija{0}}funkcije za uštedu troškova hemikalija?
Da, uključuje funkciju povrata kemikalija (reciklira procesne kemikalije) i klasificiranu drenažu otpada.
Sa kojim operaterima ovi sistemi rade?
SWC100 / SWC 200 koriste 4FOUP; SEC Plus podržava 2–4 otvorene kasete/SMIF/FOUP (prilagođava se starim/modernim linijama).
Popularni tagovi: Jednostruki čistač oblatni, Kina proizvođači, dobavljači čistača za jednu pločicu
