Pregled proizvoda
Batch Wafer Cleaner-uključujući modele od 12-i inča od 8-BC modela-je napravljen za preciznost u proizvodnji poluprovodnika i obradi silicijumskih pločica, specijalizovan za mokro graviranje i čišćenje. Šta ga izdvaja? Fleksibilnost formata koja radi i za 12-inčne i 8--inčne pločice, plus konfigurabilne opcije rukovanja (bez kasete ili kasete) kako bi se uklopile u bilo koju proizvodnu postavku - od velikih fabrika od 300 mm do starih linija od 200 mm.
Ispod haube, prepun je funkcija koje su važne za dosljedne rezultate: napredno upravljanje kemikalijama (sa CCSS/LCSS podrškom), automatizirana kontrola procesa za doziranje, temperaturu i brzinu protoka i industrijski{0}}standardna SECS/GEM komunikacija. Ali nismo se zaustavili na performansama-sigurnost i efikasnost su također bili glavni prioriteti. Dobit ćete ugrađenu-detekciju curenja i zaštitu od pregrijavanja za bezbrižnost, kao i mogućnosti povrata hemikalija i klasifikacije otpada za nesmetano odvijanje operacija. Bilo da gravirate, čistite ili ispirete, ovaj sistem daje ponovljive rezultate na koje možete računati-bez nagađanja.
Prednosti
Format i fleksibilnost rukovanja
- 12-inčni model:Dizajn{0}}bez kaseta (smanjuje rizik od kontaminacije za visoko-vafere od 300 mm).
- 8-inčni model:Dvostruko rukovanje bez kaseta/kaseta- + kompatibilnost sa SMIF POD/FOUP (prilagođava se starim/modernim 200 mm radnim procesima).
Precizna kontrola procesa
- Standardizirane karakteristike:Automatsko doziranje, odzračivanje i dovod i-regulacija temperature, koncentracije, protoka i pritiska u realnom vremenu (osigurava ujednačenost šarže-do{2}}).
- Napredno sušenje:Marangoni/LPD sušenje (sprečava mrlje od vode/ostatke na osjetljivim površinama vafla).
Troškovi i operativna efikasnost
BC3100-ekskluzivna hemijska regeneracija (smanjuje potrošnju hemikalija i otpad).
Serijska zaštita od pregrijavanja + senzori curenja (minimizira zastoje i gubitak materijala).
Fabrička integracija i usklađenost
Potpuna podrška za SECS/GEM protokol (omogućava MES povezivanje za pametne fab radne tokove).
- 8-inčni model:Odvojena drenaža (pojednostavljuje klasifikaciju opasnog otpada i usklađenost sa propisima).
Prijave
IC Manufacturing Process
- RCA čišćenje
- PR mokra traka
- Dielektrični sloj mokro nagrizanje
- Metalni sloj vlažnog graviranja
Obrada silicijumskih pločica
- Alkalno nagrizanje
- Nakon-čišćenja
- Prethodno -čišćenje
- Završno ispiranje
Specifični slučajevi upotrebe modela-
- 12-inčni model: Napravljen za-proizvodnju velike količine od 300 mm. Zamislite velike fabrike logike i memorijskih čipova koji rade punom brzinom.
- 8-inčni model: Idealan za wafer linije od 200 mm. Odlično za automobilske poluprovodnike i zastarjelu mikroelektroniku-onu koja napaja osnovne sisteme.
Parameters
|
Parametar |
12-inčni model |
8-inčni BC model |
|
Veličina oblatne |
12 inča (300 mm) |
8 inča (200 mm) |
|
Tip alata |
Kaseta{0}}manje |
Bezkasetni ili kasetni tip |
|
Capacity/Pitch |
N/A |
50 vafla (25 vafla/kaseta x2)/ 10mm korak |
|
Podržani operateri |
N/A |
SMIF POD/FOUP |
|
Podrška za snabdevanje hemikalijama |
CCSS, LCSS |
CCSS,LCSS |
|
Tehnologija sušenja |
Marangoni suvi ili LPD |
Marangoni suvi,LPD suvi |
|
Chemical Management |
Automatsko doziranje, bleed&feed; |
Automatsko doziranje, bleed&feed; |
|
Sigurnosne karakteristike |
Zaštita od pregrijavanja kade; senzori curenja (nivo{0}}jedinice) |
Zaštita od pregrijavanja kade; detekcija curenja; odvojeno |
|
Chemical Reclaim |
Podržano |
Nije navedeno |
|
Communication Protocol |
Potpuna SECS/GEM podrška |
Potpuna SECS/GEM podrška |
|
Cassette Transmission |
Nije navedeno |
Podržano |
FAQ
P: Koje veličine pločice podržava BC serija?
O: BC3100 radi sa 12-inčnim (300 mm) pločicama; 8-inčni BC model podržava 8-inčne (200mm) pločice.
P: Može li BC serija raditi sa kasetama?
O: BC3100 koristi dizajn{1}}bez kasete; model od 8-inča podržava rukovanje bez kasete i kasetonog tipa.
P: Koje ključne procese obavlja?
O: Obrađuje RCA čišćenje, PR trake, dielektrično/metalno jetkanje i čišćenje nakon{0}}poliranja za poluvodiče/vafere.
P: Da li podržava fabričku integraciju?
O: Da-oba modela u potpunosti podržavaju SECS/GEM komunikacioni protokol za MES povezivanje.
P: Koje sigurnosne karakteristike ima?
O: Standardne karakteristike uključuju zaštitu od pregrijavanja kade i detekciju curenja; 8-inčni model dodaje odvojenu drenažu otpada.
Popularni tagovi: Serijski čistač vafla, proizvođači, dobavljači u Kini serijskih čistača vafla
