Pregled proizvoda
Ovaj sistem magnetronskog raspršivanja je napravljen za taloženje metala tankog filma u proizvodnji poluprovodnika. Široko se koristi u integriranim krugovima, energetskim uređajima i naprednom pakiranju. Sistem podržava pločice od 6 inča i 8 inča i pruža stabilan, ponovljiv rast tankog filma kako za istraživanje i razvoj tako i za masovnu proizvodnju.
Prednosti
1. Klaster stil i modularni dizajn olakšavaju konfiguraciju i proširenje za različite potrebe procesa.
2. Potpuno automatizirano rukovanje pločicama s kompletnim pomoćnim funkcijama održava rad stabilnim i smanjuje ručnu intervenciju.
3. Jednokomorni raspored jedne mete podržava paralelne i sinhrone procese, poboljšavajući ukupnu efikasnost.
4. Visoke performanse vakuuma do ~6E 6 Pa i ujednačenost otpornosti ploče Manje od ili jednako 3% pomaže da se osigura dosljedan kvalitet filma na pločicama.
Prijave
1. Integrisana kola: koriste se za odlaganje metalnih interkonekcija, elektroda i slojeva barijere u prednjim i zadnjim procesima.
2. Uređaji za napajanje: podržava formiranje metalnog filma za elektrode, metalizaciju i pasivizaciju u komponentama visokog napona i velike snage.
3. Napredno pakovanje: obezbeđuje pouzdanu metalizaciju za slojeve redistribucije (RDL), bumping i druge strukture za međusobno povezivanje pakovanja.
FAQ
P: Za šta se zapravo koristi ovaj sistem magnetronskog raspršivanja?
O: To je-alat za taloženje tankog filma-prvenstveno za polaganje metalnih filmova u proizvodnji poluprovodnika. Zamislite da su integrisana kola, uređaji za napajanje i napredni procesi pakovanja-to su glavni slučajevi njegove upotrebe.
P: Koje veličine napolitanki može podnijeti?
O: Trenutno radi sa 6-inčnim i 8-inčnim pločicama. Savršeno za laboratorijski rad na istraživanju i razvoju i za pune proizvodne linije.
P: Koliko nizak može biti nivo vakuuma?
O: Govorimo o oko 6E-6 Pa za procesni vakuum. To je ključno za dobijanje visokokvalitetnih, konzistentnih tankih filmova.
P: Koliko je konzistentna uniformnost filma?
O: Ujednačenost otpornosti ploče je manja ili jednaka 3%-tako da nećete vidjeti velike varijacije na pločicama, što je ključno za pouzdane performanse uređaja.
P: Po čemu se ovaj sistem ističe za svakodnevnu upotrebu?
O: Male stvari se zbrajaju: modularni dizajn u-stilu (super fleksibilan za prilagođena podešavanja), potpuno automatizirano rukovanje pločicama (smanjuje ručni rad) i jedno-jednokomorni-izgled (omogućava da se procesi odvijaju paralelno, povećavajući efikasnost).
P: Da li je pogodan za napredne aplikacije za pakovanje?
O: Apsolutno. Široko se koristi za metalizaciju u naprednom pakovanju-stvari kao što su RDL (slojevi za preraspodjelu), bumping i druge strukture međusobnog povezivanja kojima su potrebne pouzdane metalne folije.
Popularni tagovi: Magnetronski sistem za raspršivanje, Kina proizvođači, dobavljači sistema za magnetronsko raspršivanje
