Pregled proizvoda

Tri opreme za magnetno raspršivanje naše kompanije, bazirane na PVD tehnologiji, sve deponuju visoko{0}}kvalitetne metalne, dielektrične i poluprovodničke filmove, ali se razlikuju u fokusu primjene.

Uzmite industrijski model sa jednom{0}}komorom: dizajniran je za proizvodnju velikih-razmjera, sa izuzetnim ciljanim korištenjem koje drži troškove pod kontrolom. Besprijekorno rukuje 8-inčnim pločicama, isporučujući konzistentne zahtjeve industrijske proizvodnje.

Zatim tu je industrijska verzija sa više{0}}komora, koja koristi modularne, nezavisne komore (misli se na grijanje, raspršivanje i još mnogo toga) za automatizaciju cijelog procesa premazivanja.

To je{0}}izmjena igre za masovnu-proizvodnju složenih višeslojnih-filmova, smanjujući ručne intervencije. Mašina za istraživanje{4}}, s druge strane, dizajnirana je posebno za univerzitete i istraživačke institucije. Nudi fleksibilne postavke-kao što je više-raspršivanje-za prilagođavanje malih-serijskih istraživanja i razvoja, bilo za materijale od silicijum karbida ili prototipove kvantnih čipova. U sva tri, držimo se naše posvećenosti "kvalitetu izrade", osiguravajući da ispunjavaju različite potrebe industrije poluvodiča.

Da biste dobili najbolje rješenje za vas, kontaktirajte nas.

Prijave

Od tri opreme za raspršivanje magneta naše kompanije svaka ima svoju nišu{0}}zajedno pokrivajući sve potrebe u industriji poluprovodnika.

Uzmite industrijski jednokomorni-model: radi se o velikoj-proizvodnji, poput integriranih kola. Za pripremu tankog filma od 8- inča, brz je i stabilan, ubacuje se direktno u CMOS/IGBT proizvodne linije i bez problema postiže ciljeve u pogledu kapaciteta i prinosa.

Industrijski više{0}}komorni se ističe potpunom automatizacijom i solidnom integracijom. Oni složeni višeslojni filmovi za 5G i optoelektronske uređaje? Lako rukuje njima, ispunjavajući zahtjeve visoke preciznosti masovne proizvodnje.

Zatim istraživački{0}}model ocjene-koji je skrojen za univerzitetsko istraživanje i razvoj. Podržava male-serijske testove na novim materijalima kao što je silicijum karbid, i djeluje kao super fleksibilna platforma za verifikaciju.

Prednosti

Svaka naša tri Magnetron oprema za raspršivanje donose ciljanu snagu na stolu, prilagođenu različitim scenarijima primjene:

1. Industrijski jednokomorni model:

Postiže velike rezultate uz visoku ciljanu iskorištenost-direktno smanjujući operativne troškove. Prilikom obrade 8- inča wafer-a, daje solidne performanse; Ujednačenost filma ostaje unutar ±3%, lako zadovoljavajući zahtjeve industrijskog prinosa. Osim toga, njegova jednostavna struktura olakšava održavanje.

2. Industrijski višekomorni model:

Modularne automatizovane komore su njegov as u rupi, značajno povećavajući efikasnost proizvodnje. Također ima naprednu kontrolu čestica, koja osigurava vrhunsku -čistoću filma-savršenu za izradu višeslojnih- filmova koji se koriste u 5G i optoelektronskim uređajima. Štaviše, njegova snažna integracijska sposobnost omogućava mu da se neprimetno prilagodi širokom spektru materijala.

3. Istraživanje-Model razreda:

Dizajniran imajući na umu istraživanje i razvoj, nudi fleksibilne postavke kao što je raspršivanje sa više-cilja kako bi se zadovoljile potrebe razvoja novih materijala. Mikrometarska-preciznost na nivou daje pouzdanu podršku za verifikaciju procesa, a njegov mali-dizajn serijske obrade pomaže u smanjenju troškova istraživanja i razvoja-idealan za laboratorijska istraživanja.

Parameters

Stavka	Industrijski jednokomorni{0}}model	Industrijski višekomorni model	Istraživanje-Model ocjene
Primjenjiva veličina vafla	8 inča i ispod	6 inča/ 8 inča	8 inča i ispod
Ultimate Vacuum	8x10-5 Pa	2x10-5 Pa	-
Film Uniformity	Manje ili jednako ±3%	Manje ili jednako ±3%	±3% (4-inčna meta, 8-inčna pločica)
Kontrola temperature faze podloge	RT-650 stepeni (ili hlađenje)	-	RT-600 stepeni (grejanje ili hlađenje)
Brzina rotacije faze supstrata	-	-	5-20 RPM
Metoda prskanja	Jedno{0}}isprskavanje	-	Jedna{0}}cilja/više-uzastopno/ko-sputtering
Napajanje	Opciono DC/RF/MF	-	Opciono DC/RF/MF
Ključne konfiguracije	Jedna procesna komora; Manje ili jednako 4 meta pištolja	Manje ili jednako 5 procesnih komora (grijanje, hlađenje, raspršivanje, itd.)	Više{0}}naprskavanje: pred-vakumska komora (opciono); modul za čišćenje uzorka
Primjenjivi materijali	Silicijum, spojevi, keramika, itd.	Silicijum, jedinjenja, itd.	Metali (Al,Au,Cu), dielektrici (SiO2,TaN), poluprovodnici

FAQ

Kako odabrati između tri modela?

Za masovnu proizvodnju 8--inčnih pločica (npr. CMOS/IGBT), odaberite industrijski model sa jednom{5}} šupljinom; za složene višeslojne filmove u 5G/optoelektronici, izaberite industrijski model sa više šupljina; za istraživanje i razvoj novih materijala na univerzitetima (npr. silicijum karbida), izaberite istraživački model.

Da li podržava premazivanje materijala bez -silikona-?

Da, podržava sve, pokrivajući keramiku, složene poluprovodnike, metale (Al/Au), dielektrike (SiO₂) itd.

Da li se veličina oblatne može proširiti?

Zadana vrijednost je 8 inča i manje (6-8 inča za model sa više- šupljina). Proširenje malog obima može se unaprijed prilagoditi, ali treba procijeniti izvodljivost procesa.

Koji su uvjeti ispitivanja za ujednačenost debljine filma manju ili jednaku ±3%?

Zasnovano na 8-inčnim pločicama (4-inčni ciljni + 8-inch wafer za istraživački model), standardno testiranje sloja metala/dielektričnog filma. Optimizacija je moguća za različite materijale/debljine filma.

Da li je obezbeđena obuka za instalaciju?

Pružamo-instalaciju i puštanje u rad, plus obuku za rad/održavanje kako bismo osigurali da tim može brzo započeti.

Može li se oprema naknadno nadograditi?

Modeli sa više-šupljina i istraživački modeli mogu se nadograditi sa metama/pre{1}}vakuum komorama; Jedno-modeli sa šupljinom imaju ograničen potencijal za nadogradnju, pa preporučujemo da se jasno definišu dugoročne-potrebe od samog početka.

Koliko traje ciklus isporuke? Može li se ubrzati?

Jedno-modeli sa šupljinom/istraživački modeli: 8-12 sedmica; modeli sa više šupljina: 12-16 sedmica; ubrzana isporuka je po dogovoru i ovisi o rasporedu proizvodne linije.

Postoje li popusti na troškove post{0}}održavanja?

Uglavnom za ciljne materijale i potrošni materijal. Potrošni materijal se nudi sa popustom većim ili jednakim 10% tokom 5 godina nakon garantnog roka. Pružamo i smjernice za održavanje kako bismo smanjili troškove.

Popularni tagovi: oprema za magnetron raspršivanje, Kina proizvođači opreme za magnetron raspršivanje, dobavljači