Pregled proizvoda
Electron Beam Evaporator kompanije Nice-s je serija PVD (Physical Vapor Deposition) opreme visokih{1}}performansi razvijena za raznovrsnu industrijsku proizvodnju i potrebe naučnih istraživanja. Pokrivajući masovnu proizvodnju-vafera, premazivanje obradaka velikih-veličina, malo-serijsko istraživanje i razvoj i specijalizirane scenarije procesa, linija proizvoda uključuje više modela kao što su EBE 700, EBE 600 / EBE 600P, EBE 500, EBE 400 / EBE300 200P, EBE 100. Svaki sistem integriše naprednu tehnologiju vakuumskog premaza i osnovne{16}}komponente svjetske klase (brendova kao što su Edwards, Pfeiffer i MKS), uparene sa{17}}samorazvijenim VKOS potpuno automatskim kontrolnim sistemom, osiguravajući stabilno, pouzdano i efikasno taloženje filma.
Serija proizvoda sadrži fleksibilne strukturne dizajne-uključujući jednokomorne-, dvokomorne-i kompaktne konfiguracije-za prilagođavanje različitim zahtjevima prostora i procesa. Ključni indikatori performansi se ističu: ujednačenost premaza precizna od ±2% (većina modela) i ±3% (kompaktni modeli), krajnji vakuum koji dostiže 1E-5Pa do 2E-5Pa, i rasponi kontrole temperature koji se protežu od -50 stepeni do 500 stepeni (ili RT do 500 stepeni) do različitih potreba za taloženjem. Bilo da se radi o masovnoj proizvodnji na nivou pločice, složenoj višeslojnoj pripremi filma ili laboratorijskoj verifikaciji istraživanja i razvoja, Vikaitech-ovi sistemi za isparavanje elektronskim snopom isporučuju rješenja po mjeri.
Prednosti
- Vrhunski kvalitet filma i visoka konzistencija
- Raznovrsni modeli za ciljane potrebe
- Visoka automatizacija i jednostavno održavanje
- Snažna kompatibilnost i prilagođavanje
- Pouzdane konfiguracije jezgra
Prijave
- Semiconductor & Microelectronics
- Optoelektronika i optička komunikacija
- Vazdušna i infracrvena detekcija
- Biomedicina i novi materijali
- Industrijska masovna proizvodnja
- Naučna istraživanja i univerziteti
Parameters
|
Stavka |
EBE 700 (Visoko-vrsta masovne proizvodnje) |
EBE 600/ EBE 600P (proizvodni tip s dvije komore) |
EBE 500 (univerzalni tip s dvije komore) |
EBE 400 (R&D Dual Chamber Type) |
EBE300 /EBE 300P (Proizvodnja Jednokomorna -vrsta) |
EBE 200 /EBE 200P (univerzalni jednokomorni tip) |
EBE 100 (kompaktni tip) |
|
Ujednačenost premaza |
±2% |
±3% |
|||||
|
Ponovljivost premaza |
±2% |
||||||
|
Ultimate Vacuum |
2E-5Pa |
1E-5Pa |
1E-5Pa |
1E-5Pa |
2E-5Pa |
1E-5Pa |
1E-5Pa |
|
Raspon kontrole temperature |
RT ~ 200 stepeni |
RT ~ 300 stepeni |
RT ~ 500 stepeni |
RT ~ 500 stepeni |
RT ~ 300 stepeni |
RT ~ 500 stepeni |
-50 stepeni ~ 500 stepeni |
|
Područje uniformnog taloženja |
Wafer{0}}Nivo (8 inča i više za masovnu proizvodnju) |
Radni komadi-veličine (manje ili jednako 1000 mm × 1000 mm) |
Univerzalna veličina (pogodno za proizvodnju i istraživanje i razvoj) |
Mala{0}}do-srednja serija obradaka (R&D i mala-proizvodnja) |
Radni komadi-veličine (manje ili jednako 1000 mm × 1000 mm) |
Maksimalni Ø300 mm (vafer/obradni komad) |
Laboratorijska-Mala veličina (manja ili jednaka Ø150mm) |
|
Chamber Type |
Jednokomorna (Potpuno automatski nivo oblata-) |
Dvokomora (vrsta proizvodnje, nezavisna procesna komora) |
Dvokomorna (univerzalni tip, međusobno zaključavanje opterećenja) |
Dvokomorna (tip istraživanja i razvoja, gornja-blokada opterećenja donje komore) |
Jednokomorna (proizvodna vrsta, velika komora) |
Jednokomorna (univerzalni tip, standardna komora) |
Jednokomorna (kompaktni tip, mala komora) |
|
Loading System |
Automatski prijenos vafla |
Automatski robotski transfer |
Jedno/više{0}}vafer automatsko zaključavanje učitavanja |
Jedno/više{0}}vafer automatsko zaključavanje učitavanja |
Automatski robotski transfer |
Ručno/polu{0}}Automatsko učitavanje |
Ručno učitavanje (prijenosno) |
|
L×W×H(m) |
8.5×5.5×3.3 |
4.4×4.1×2.6 |
4.0×3.1×2.9 |
3.0×2.5×2.2 |
4.05×3.9×2.8 |
3.35×2.8×2.2 |
3.15×2.4×2.2 |
|
Neto težina (približno) |
12000kg |
8500kg |
6800kg |
4200kg |
7200kg |
5500kg |
3800kg |
FAQ
P: Koja je osnovna aplikacija?
O: Visoko{0}}precizno taloženje tankih-filmova za istraživanje i razvoj poluprovodnika, optoelektronike, aeronautike, biomedicine i novih materijala.
P: Koji materijali su kompatibilni?
O: Metali (Al, Au), dielektrici (SiO₂), poluprovodnici, jedinjenja, keramika; T360 optimizovan za taloženje indija.
P: Ključne karakteristike performansi?
O: Ujednačenost premaza ±2% (proizvodni modeli)/±3% (R&D/kompaktni); ponovljivost ±2%; krajnji vakuum 1E-5Pa~2E-5Pa.
P: Mogu li se konfiguracije nadograditi?
O: Da-dodati izvore jona, pred-vakumske komore, uređaje ili automatske blokade opterećenja (ovisno o-modelu).
P: Uključena instalacija i obuka?
O: Instalacija/puštanje u rad na-obrtu + obuka za rad/održavanje; dostupno daljinsko navođenje.
Popularni tagovi: isparivač s elektronskim snopom, Kina proizvođači, dobavljači isparivača s elektronskim snopom
