Minimalna veličina funkcije
Minimalna kritična dimenzija (CD):
Minimalna veličina karakteristike, poznata i kao veličina pola koraka, jedan je od najvažnijih parametara za mjerenje performansi mašina za litografiju.
Među njima je konstanta koja varira u različitim shemama litografije, gdje je λ talasna dužina ulaznog izvora svjetlosti, a NA je numerički otvor optičkog sistema litografske mašine. Za konstante, trenutno ASML-ova DUV litografska mašina u Holandiji može postići maksimum od oko 0,25, dok je EUV i dalje oko 0,35. Što je manja talasna dužina ulaznog izvora svetlosti, manji je stvarni proces fotolitografije koji se može izvesti. Za numerički otvor NA, gornja granica ove vrijednosti je općenito 1,0 za DUV sheme bez vlaženja i oko 1,35 za DUV sheme za vlaženje. U poređenju sa litografijom bez potapanja, mašine za imerzijsku litografiju koriste dodatnu tečnost za prelamanje tokom litografije, obično čistu vodu sa indeksom prelamanja od oko 1,33. Ovo je takođe razlog zašto mašine za litografiju uronjavanja imaju veći NA.
Preciznost graviranja
Preciznost preklapanja: Preciznost poravnanja između šablona maske i vafla.
Osnovno značenje se odnosi na tačnost poravnanja uzoraka između dva procesa fotolitografije. Ako je odstupanje od poravnanja preveliko, to će direktno utjecati na prinos proizvoda.
Tolerancija ekspozicije
Širina ekspozicije: Širina ekspozicije, poznata i kao margina ekspozicije, jedan je od važnih parametara prozora procesa. Optički sistemi ekspozicije mogu formirati raspon energije ekspozicije koji zadovoljava zahtjeve dizajna. Obično se definira rasponom odabira energije ekspozicije unutar ± 10% promjene vrijednosti CD-a otkrivene rezultatom ekspozicije. Ako se širina linije eksponiranog uzorka mijenja relativno malo kada fotorezist odstupa od optimalne doze ekspozicije, to ukazuje da fotorezist ima veliku toleranciju ekspozicije. Što je veća tolerancija izloženosti, veća je tolerancija razvoja.
Tolerancija ekspozicije i kontrast projekcijske slike su usko povezani. Ako veličina značajke projicirane slike ima loš kontrast slike, bit će previše osjetljiva na promjene doze
