Pregled proizvoda
SCD6 i SCD6S su kompaktni 6-inčni automatski centrifugalni premazi i sistemi za razvijanje složenih poluprovodnika, energetskih uređaja, MEMS i optoelektronske proizvodnje.
SCD6: Ciljano za napajanje uređaja i LED proizvodnju. Usvaja kompaktnu strukturu, podržava supstrate kao što su Si, Sapphire, GaAs, GaN, SiC, InP, LT, LN i uklapa se u G-line / i-line procese.
SCD6S: Orijentiran na MEMS, RF integrirano kolo, optičku komunikaciju i laboratorijska istraživanja. Proširuje kompatibilnost materijala na Glass i dodaje mogućnost PI procesa, pružajući veću fleksibilnost za različite zadatke istraživanja i razvoja i pilot{2}}proizvodnje.
Oba modela imaju mali otisak, kompatibilnost s dvostrukom-veličinom bez zamjene dijelova, precizno napajanje fotootpornom mjernom pumpom i sveobuhvatne ugrađene-funkcije kao što su EBR, BSR i automatsko-čišćenje mlaznica.
Prednosti
Razlikovanje modela za različite scenarije SCD6 optimizuje za masovnu-proizvodnju snage/LED; SCD6S dodaje podršku za PI proces i staklenu{3}}podlogu za MEMS, RF i istraživačke-korisnike.
Fleksibilni opcioni moduli Podržavaju kontrolu temperature fotootpornika / razvijača, HMDS modul za prajming pare koji odgovara različitim zahtjevima procesa.
Potpuna mogućnost sljedivosti Dugotrajno-skladištenje za evidenciju kvarova opreme i zapise parametara procesa, pogodno za kvalitetno praćenje i analizu procesa.
Sveobuhvatne standardne funkcije procesa Ugrađene-u EBR, BSR, RRC, automatske funkcije vlaženja i čišćenja mlaznice za ljepilo kako bi se osigurao stabilan kvalitet litografije.
Visoko{0}}isporuka fotorezista Precizna pumpa za doziranje za opskrbu fotorezistom, visoku preciznost doziranja i stabilno napajanje tekućinom; jednostavno podešavanje recepta za volumen doziranja.
Parameters
|
Stavka |
SCD6 |
SCD6S |
|
Model |
SCD6 6-inčni uređaj za centrifugiranje i razvoj |
SCD6S 6-inčni Spin Coater & Developer |
|
Veličina oblatne |
6-inča (150 mm), kompatibilan sa dvije veličine bez zamjene dijelova |
6-inča (150 mm), kompatibilan sa dvije veličine bez zamjene dijelova |
|
Materijal podloge |
Si, Safir, GaAs, InP, GaN, SiC, LT, LN |
Si, staklo, safir |
|
Chamber Configurations |
2C2D / 4C / 4D |
3C / 4C / 6D |
|
Podržani proces litografije |
G-linija, i-linija |
G-linija, i-linija, PI |
|
Dimenzije opreme (Š × D × V) |
1050 × 1900 × 2200 mm |
1500 × 1450 × 2200 mm |
|
Opcione jedinice |
Fotorezist / kontrola temperature razvijača, HMDS modul |
Fotorezist / kontrola temperature razvijača, HMDS modul |
|
Osnovne{0}}ugrađene funkcije |
EBR, BSR, RRC, auto{0}}vlaženje i čišćenje mlaznica |
EBR, BSR, RRC, auto{0}}vlaženje i čišćenje mlaznica |
|
Control Mode |
Lokalna kontrola, dugotrajno-skladištenje recepta i evidencije grešaka |
Lokalna kontrola, dugotrajno-skladištenje recepta i evidencije grešaka |
|
Certifikacija |
U skladu sa SEMI S2 |
U skladu sa SEMI S2 |
Često postavljana pitanja
P: Koja je razlika između SCD6 i SCD6S?
O: SCD6 je optimizovan za uređaje za napajanje i masovnu proizvodnju LED dioda, podržavajući različite složene poluvodičke supstrate (Safir, GaN, SiC itd.) sa G linija / i linija procesa. SCD6S dodaje mogućnost PI procesa i kompatibilnost sa staklenim supstratom, pogodniji za MEMS, RF IC, optičku komunikaciju i laboratorijske scenarije istraživanja i razvoja. Konfiguracije komore i fizičke dimenzije su također različite.
P: Da li SCD6 / SCD6S podržava promjenu veličine pločice?
O: Da. Oba modela podržavaju kompatibilnost dvostruke veličine bez zamjene rezervnih dijelova, skraćujući vrijeme za promjenu proizvoda.
P: Koji opcioni moduli se mogu odabrati?
O: Fotorezist i modul za kontrolu temperature razvijača, HMDS modul za punjenje dostupni su i za SCD6 i SCD6S.
P: Može li mašina pohraniti procese i istoriju grešaka?
O: Da. Parametri procesa i zapisi o greškama opreme mogu se dugoročno sačuvati za kvalitetno praćenje i otklanjanje grešaka u procesu.
P: Da li su pogodni za masovnu proizvodnju ili samo za laboratorijsku upotrebu?
O: Oba podržavaju masovnu proizvodnju malih serija, kao i laboratorijsko istraživanje i razvoj. SCD6 je više orijentisan na proizvodnju električne energije/LED; SCD6S odgovara pilot proizvodnim i istraživačkim projektima.
Popularni tagovi: 6-inčni uređaj za centrifugiranje i razvijanje, proizvođači, dobavljači u Kini 6-inčnih strojeva za centrifugiranje i razvijanje
