Pregled proizvoda
SCD 12 je 12-aparat za automatsko centrifugiranje-oprema za obradu i razvijanje za proces poluprovodničke litografije. Dizajniran za proizvodnju ploča od 300 mm, usvaja modularnu{7}}arhitektonsku konstrukciju, podržavajući fleksibilnu konfiguraciju komore. Može ostvariti inline vezu s alatima za izlaganje litografiji, pokrivajući masovnu proizvodnju i scenarije istraživanja i razvoja za integrirana kola, napredno pakovanje, uređaje za napajanje i druga polja.
Sposoban je za obradu ultra-tankih i iskrivljenih pločica, podržava promjenu veličine dvostrukih-vafera-bez zamjene dijelova i potpuno je kompatibilan sa glavnim procesima poluprovodničke litografije.
Prednosti
Veliki-kapacitet i kompaktan otisak Modularni proces-dizajn jedinice, visoka propusnost, štedi vrijedan prostor u čistoj-sobi. Procesne komore se mogu fleksibilno konfigurirati prema zahtjevima kupaca.
Snažna sposobnost obrade savijenih-vafera Podržava stabilan prijenos i obradu za ultra-tanke i iskrivljene pločice sa savijanjem ispod 5 mm, rješavajući poteškoće za proizvodnju specijalnih-podloga.
Kompatibilnost s dvije-veličine bez zamjene hardvera Prebacivanje između različitih veličina pločice bez mehaničke- zamjene dijelova, skratiti vrijeme promjene i smanjiti troškove rada.
Ugrađeni-spremni za alate za litografiju Opcioni modul interfejsa podržava u-linijsko spajanje sa glavnim mašinama za ekspoziciju litografije, ostvarujući potpuno automatsko praćenje{2}}lito rada.
Bogate funkcionalne opcije-modula Podržava visoko-preciznu grijaću ploču, optičko poravnanje, WEE izlaganje rubova pločice i druge opcione komponente koje odgovaraju različitim zahtjevima-procesa.
Parameters
|
Stavka |
Specifikacija |
|
Model |
SCD 12 12-inčni Spin Coater & Developer |
|
Veličina oblatne |
12-inča (300 mm), kompatibilan sa dvije veličine bez zamjene dijelova |
|
Materijal podloge |
Da, staklo |
|
Chamber Configurations |
2C2D / 4C / 4D / 4C4D (prilagodljivo) |
|
Podržani proces litografije |
i-linija, KrF, ArF, PI, SOG, SOC |
|
Primjenjiva širina linije litografije |
Veća ili jednaka 90 nm |
|
Max Throughput |
110 WPH (ovisno o receptu i konfiguraciji) |
|
Kompatibilnost iskrivljenih pločica |
Podrška za iskrivljenje manje od ili jednako 5 mm ultra-prenos i obrada tankih/iskrivljenih pločica |
|
Dimenzije (Š × D × V) |
4970 × 1973 × 2460 mm |
|
Inline funkcija |
Opcioni interfejs modul za povezivanje sa litografskom mašinom |
|
Opcione jedinice |
Visoko{0}}precizna grijaća ploča, optičko poravnanje, WEE modul za izlaganje rubova vafla |
|
Control Mode |
Lokalna kontrola / daljinsko upravljanje tvorničkom automatizacijom |
|
Certifikacija |
U skladu sa SEMI S2 |
Često postavljana pitanja
FAQ
P: Koje podloge i veličine pločica podržava SCD 12?
O: Uglavnom za pločice od 12 inča (300 mm), koje podržavaju Si i staklene podloge. Podržava zamjenu dvostrukih veličina bez zamjene rezervnih dijelova i može obraditi izobličene/ultra tanke pločice sa iskrivljenjem manjim ili jednakim 5 mm.
P: Koje procese litografije može pokrenuti ova mašina?
O: Podržava i line, KrF, ArF, PI, SOG, SOC procese, pogodan za širinu litografske linije veću ili jednaku 90 nm.
P: Može li se SCD 12 spojiti na litografski skener/steper?
O: Da. Izaberite opcioni modul interfejsa da biste postigli Inline inline spajanje sa glavnim mašinama za ekspoziciju litografije.
P: Koje konfiguracije komora su dostupne za odabir?
O: Dostupne konfiguracije: 2C2D / 4C / 4D / 4C4D. Kupci mogu da dodaju opcione jedinice uključujući visoko preciznu grejnu ploču, optičko poravnanje, WEE, inline modul interfejsa na osnovu zahteva procesa.
P: Kolika je stvarna propusnost?
O: Maksimalna propusnost je 110 WPH. Stvarna propusnost varira u zavisnosti od stvarne konfiguracije komore i proizvodnog recepta.
P: Da li je SCD 12 pogodan i za masovnu proizvodnju i za laboratorijsko istraživanje i razvoj?
O: Da. Fleksibilna modularna konfiguracija može ispuniti velike zahtjeve za masovnu proizvodnju fabrika, a također se može prilagoditi malim serijama istraživanja i razvoja u istraživačkim institutima.
Popularni tagovi: 12-inčni spin-coater i razvijač, Kina 12-inčni centrifugir i programer proizvođači, dobavljači
