Sistem premazivanja i razvijanja je pravi-ili-komad opreme u proizvodnji poluprovodnika-njegove performanse direktno oblikuju preciznost kola, efikasnost proizvodnje i konačni prinos. Ako ste zaglavili u odabiru pravog modela, evo bez-vodiča za smanjenje buke:
1. Počnite sa svojim stvarnim slučajem upotrebe
Ne skačite prvo u specifikacije-sacrtajte za šta ga zaista koristite:
Linije za masovnu proizvodnju(mislite na uređaje za napajanje, LED fabrike): dajte prioritet propusnosti i pouzdanosti. Ciljajte na WPH (vafere po satu) od najmanje 150, MTBF (srednje vrijeme između kvarova) preko 1000 sati i vrijeme rada od 95% ili više-ne možete priuštiti česte zastoje.
Laboratorije za istraživanje i razvoj ili mali{0}}serijski projekti: Fleksibilnost je najvažnija. Potražite opremu koja radi s više procesa (I line, PI, PR, itd.) i može podnijeti zahtjevne pločice-iskrivljene, kvadratne ili neparne-veličine.
Specifične potrebe za čipom:
2-6 inčni složeni poluprovodnici ili LED diode? UTW-1500 ili UTW1500X se uklapaju.
8-12-inčni vrhunski čipovi ili CoWoS pakovanje? UTW-3000 je jedini koji podržava te veće pločice.
2. Fokusirajte se na specifikacije koje su zapravo važne
Ne morate pamtiti svaki broj-na nulu na ovim ključnim:
Preciznost: Minimalna širina linije (350 nm za osnovne aplikacije, do 45 nm za vrhunske čipove) i stopa loma pločice (mora biti manja ili jednaka 0,01%-čak i mali gubici se zbrajaju).
Propusnost: WPH se kreće od 150 (UTW1500X) do 200 (UTW-3000) - odaberite ono što odgovara vašem tempu proizvodnje.
Kompatibilnost: Uvjerite se da odgovara vašoj veličini oblatne (2-12 inča) i kasetama (SMIF, OPEN CASSETTE ili FOUP za čistije okruženje).
3. Nemojte zanemariti male detalje
Male stvari mogu napraviti veliku razliku u svakodnevnoj-u-dnevnoj upotrebi:
Space: Ako je vaša radionica tesna, toranj-stil UTW1500X (166015102000 mm) štedi vrijedan podni prostor. Trebate prostor za proširenje? Odaberite modele sa 2C2D/4C4D+interfejsom (poput UTW-1500 ili UTW-3000).
Materijali: Kontaktni dijelovi za pločice trebaju biti PEEK/PTFE/CERAMICS ili kompatibilni sa ASML/Nikon opremom{0}}izbjegava kontaminaciju vaših pločica.
Softver: Treba da radi na Windows 10 ili novijem-nema smisla baviti se zastarjelim sistemima koji su u suprotnosti s vašim postavljanjem.
4. Provjerite akreditive i -podršku nakon prodaje
Dobra mašina je pouzdana onoliko koliko je kompanija koja stoji iza nje:
Odaberite proizvođače sa ISO, IAF i CNAS certifikatima -to je dokaz da ispunjavaju industrijske standarde.
Potvrdite da nude brze popravke (MTTR manje od ili jednako 4 sata) i solidnu tehničku podršku. Kada se mašina pokvari, ne možete sedmicama čekati pomoć.
5. Brzi odabir modela za uobičajene scenarije
2-6 inča za istraživanje i razvoj ili maloserijska proizvodnja(složeni poluprovodnici, LED diode, optički uređaji): UTW-1500/UTW1500X. Isplativo je-isplativo, radi s većinom osnovnih procesa i bez problema rješava iskrivljene/kvadratne pločice-plus stopa loma je ultra niska (manja ili jednaka 0,01%).
4-8 inča za masovnu proizvodnju čipova srednjeg ranga(uređaji za napajanje, IC-ovi, memorijski čipovi): UTW-2000A. Sa preciznošću od 180 nm i stabilnom propusnošću od 160 kom/h, to je radni konj za linije srednjeg opsega. Takođe dolazi sa do 24 modula hladne/vruće ploče za dosljednu obradu.
8-12 inča vrhunska masovna proizvodnja čipova(memorijski čipovi, CoWoS pakovanje): UTW-3000. Ovo je najbolji učinak - preciznost od 45 nm, propusnost od 200 kom/h i podrška za napredne procese kao što su KrF i ArF. FOUP/SMIF kompatibilnost kaseta održava stvari čistima za osjetljive čipove.
Male linije{0}}ograničene u prostoru: UTW1500X. Taj dizajn tornja je spas za uske tačke, a i dalje postiže sve osnovne performanse.
Specijalni procesi ili oblatne{0}}neparnog oblika: UTW-2000Z. Pokriva skoro svaki proces (I linija, KrF, ArF, paket) i ima do 38 modula hladne/vruće ploče - savršeno za prilagođene poslove ili zahtjevne podloge.
