Trodimenzionalni optički profilometar postiže mjerenje preciznosti od mikrometara do nanometra putem interferencije bijele svjetlosti ili konfokalne tehnologije i analizira trodimenzionalnu morfologiju, hrapavost i konturu čvrstih površina materijala. Ovaj instrument ima karakteristike be-beskontaktnog mjerenja, izbjegavajući oštećenje mjerene površine i pogodan je za različite materijale kao što su transparentni/metalni/visoka refleksija. U oblastima mehaničke proizvodnje, poluprovodnika, vazduhoplovstva, itd., 3D optički profilometri se široko koriste u kontroli kvaliteta, praćenju procesa i razvoju proizvoda.
Do 2025. godine, mainstream modeli kao što su ZeGage Pro i SuperViewW1 će imati i seizmičke performanse i mogućnosti automatskog mjerenja, sa preciznošću mjerenja koja prelazi nivo od 0,1 nm. Funkcije instrumenta uključuju analizu mikromorfologije, proračun zakrivljenosti i detekciju karakteristika tankog filma, koji su u skladu sa standardom ISO 25178 i koji su postali osnovna oprema za detekciju moderne precizne proizvodnje.
