Magnetronski uređaji za raspršivanje su okosnica PVD tehnologije-svi naša tri modela postavljaju vrhunske-metalne, dielektrične i poluprovodničke filmove, ali su napravljeni za različite poslove. Ako se češete o tome koji od njih odgovara, ovaj vodič ga jednostavno rastavlja na osnovu toga ko ih koristi i čemu služe.
Za koga je svaki model?
Industrijski jednokomorni{0}}model: Napravljen za velike proizvođače poluprovodnika koji isključuju CMOS/IGBT i druga integrisana kola. Ovim timovima je potreban stabilan učinak, niski troškovi rada i oprema koja je laka za održavanje-nešto što će bez problema ući pravo u njihove proizvodne linije za masovnu proizvodnju.
Industrijski višekomorni model: Idealno za{0}}proizvođače vrhunskih elektronskih uređaja fokusirane na 5G ili optoelektroniku. Oni se bave složenim više-slojnim filmovima u velikoj mjeri, tako da se o automatizaciji, preciznosti i čistoj obradi (bez kontaminacije ručnim koracima) ne može pregovarati{4}}.
Istraživanje-Model ocjene: Savršeno za univerzitete, laboratorije i nova gradilišta. Ljudi ovdje testiraju male serije-mislim da su prototipi od silicijum karbida ili kvantnih čipova{2}}tako da im je potrebna fleksibilnost za podešavanje postavki i održavanje troškova istraživanja i razvoja pod kontrolom.
Za šta se koriste?
Industrijski jednokomorni{0}}model: Sjaji u masovnoj-proizvodnji standardnih filmova na 8-inčnim (ili manjim) oblatnama. Brz je, dosljedan (ujednačenost filma ostaje ispod ±3%) i efikasno koristi ciljeve za smanjenje troškova. Odlično radi sa silicijumom, spojevima, keramikom - svim osnovnim elementima industrijske proizvodnje.
Industrijski višekomorni model: Podnosi teške stvari: veliku-proizvodnju složenih višeslojnih-filmova za 5G i optoelektronske uređaje. Njegove modularne, automatizovane komore povećavaju efikasnost, dok napredna kontrola čestica održava filmove ultra-čistima. Odgovara 6-8 inčnim pločicama i dobro se poigrava sa silicijumom, spojevima i još mnogo toga.
Istraživanje-Model ocjene: Igralište za istraživanje i razvoj. Podržava jedno-ciljno, više-uzastopno ili ko{3}}sputtering-odlično za testiranje metala (Al, Au, Cu), dielektrika (SiO₂, TaN) i poluprovodnika. Ima preciznu kontrolu temperature (RT-600 stepeni, grijanje/hlađenje) i male-serijske obrade radi uštede na probnom radu, plus opcione dodatke kao što su predvakumske komore.
Brzi odabir: 3 jednostavna koraka
Počnite sa svojim glavnim ciljem: masovna proizvodnja? Idi industrijski. R&D? Uzmite istraživački model.
Suzite to: Standardni filmovi/8- masovna proizvodnja vafla → jednokomorna-. Kompleksni više-slojni filmovi → više-komorni. Fleksibilno malo-serijalno testiranje → istraživanje.
Dvaput-provjerite ključne detalje: veličina pločice (maksimalno 8-inča za jednostruko/istraživačko, 6-8 inča za više-komornu), kompatibilnost materijala (svi podržavaju stvari koje nisu-silikonske kao što su keramika ili metal) i nadogradnje (više-modeli sa više-modelom za planiranje komora/rešeta, tako da možete dodati modele naprijed).
