Budimo iskreni-Odabir peći za žarenje nije samo potvrđivanje okvira. Radi se o pronalaženju nečega što odgovara vašem toku rada, bilo da petljate u laboratoriji ili izbacujete napolitanke 24/7. Imamo šest RTP (brza termička obrada) modela, od kojih je svaki napravljen za određene poslove, pa hajde da razbijemo kako da se fokusiramo na onaj koji stvarno radi za vas-a ne obrnuto.
Prvo: Zakucajte osnove koje su najvažnije
Prije nego što se zaglavite u specifikacijama, počnite s tri jednostavna pitanja. Oni će proći kroz buku brže od bilo čega drugog.
1. Koliko zarađujete i koje veličine oblatne koristite?
Vaš izlaz i veličina pločice se ne-ne mogu pregovarati-oni će odmah isključiti modele koji ne mogu pratiti vaše dijelove niti odgovarati vašim dijelovima.
na primjer:
Ako ste univerzitetska laboratorija i testirate nove materijale sa 4--inčnim pločicama (i trebate samo nekoliko sedmično), naša Desktop RTP oprema je savršena. Maksimalni je 6 inča i staje na radni sto - nije potreban ogroman otisak.
Ako pravite 8-vafere (recimo, 500 do 2.000 sedmično) za proizvodnju srednje{5}}obine, poluautomatska RTP oprema ima smisla. Podnosi 8-12 inča i smanjuje ručni rad bez troškova potpune automatizacije.
Za-prodavnice velikog obima (2,000+ vafla sedmično, veličina 12-inča), trebat ćete automatsku RTP opremu ili RTP opremu za visoko-oksidaciju. Automatski radi 24/7 s robotima - bez ljudske greške koja usporava stvari.
Jednostavno je: nemojte kupovati peć od 12-inča ako koristite samo oblatne od 6 inča. Izgubićete prostor i novac.
2. Šta tačno pokušavate da uradite?
Naše peći nisu jedan-poni za jedan trik-ali su optimizirane za određene poslove. Ako trebate uzgajati SiO₂ filmove za CMOS čipove, nemojte uzimati model napravljen za nisko-žarenje.
Evo brzog meča:
Uzgajati čiste, guste SiO₂ filmove (za IGBT ili MEMS)? Idite s RTP opremom za visoko{0}}oksidaciju. Postiže precizne temperature (600–1150 stepeni) i održava kiseonik na super niskom nivou-kritičnom za kvalitet filma.
Trebate se prebacivati između oksidacije, difuzije i žarenja (sve u jednoj mašini)? Oprema za oksidaciju i difuziju RTP je vaš tip. Ima 1-4 procesne cijevi, tako da možete izvoditi dva posla odjednom ako je potrebno.
Radite sa optoelektronikom (poput VCSEL) kojoj je potrebno nisko-žarenje (250–500 stepeni)? Za to je napravljena niskotemperaturna RTP oprema. Izbjegava sagorijevanje osjetljivih materijala i zadržava čestice -ključ za performanse opto{6}}uređaja.
Trebate samo osnovno žarenje (poput ionske implantacije{0}}popravke) za prototipove? Desktop RTP radi posao bez pretjeranog kompliciranja.
3. Sa kojim materijalima radite?
Ne igraju se sve peći lijepo sa svakim materijalom.
Preskočite nagađanje:
Silicijum (za IC ili standardne IGBT)? Većina modela radi, ali oprema za oksidaciju i difuziju RTP je odlična ako vam treba više procesa.
Stvari-širokopojasni kao što su SiC ili GaN (za EV module napajanja)? Oprema za oksidaciju i difuziju RTP rješava njihove velike-potrebe za toplinom (400–1200 stepeni), ili visoko{4}}oksidacijski RTP ako se fokusirate na filmove.
Litijum niobat (za optoelektroniku)? Držite se niskotemperaturne RTP opreme. Njegov raspon od 250–500 stepeni neće oštetiti materijal kao -model visoke topline.
Sljedeće: Uronite u specifikacije koje zapravo utječu na vaš rad
Kada dobijete osnove, vrijeme je da provjerite specifikacije koje će doprinijeti ili pokvariti vaš proces. Nemojte se zalijepiti za svaki broj-fokusirajte se na ova tri.
Kontrola temperature: Popravite to kako treba ili će vaši dijelovi patiti
Ako je vašem procesu potrebna stroga kontrola temperature, nemojte praviti kompromise. na primjer:
Niskotemperaturna RTP oprema ima 860mm ravnu zonu (to je područje sa konstantnom toplinom) - savršenu da osigura da svaka pločica u seriji dobije isti tretman.
Visokotemperaturna oksidaciona RTP oprema postiže preciznost od ±0,5 stepeni-o kojoj se- ne može pregovarati ako uzgajate SiO₂ filmove gdje čak i mali temperaturni pomak uništava kvalitet.
Ako prelazite između niskih i visokih temperatura (recimo, 500–1000 stepeni), Polu-Automatski ili Automatski RTP-ovi imaju dvostruku kontrolu: termoelemente za niže temperature, pirometre za više. Nisu potrebna ručna podešavanja.
Automatizacija: Koliko posla želite da uradite?
Automatizacija nije samo "fensi"-već se radi o dosljednosti i brzini.
Ako ste laboratorij s jednom osobom koja rukuje uzorcima, ručno učitavanje (Desktop RTP oprema) je u redu. Neće vam trebati roboti za 10 vafla sedmično.
Za srednju jačinu zvuka, vrata automatske komore Polu-Automatskog RTP-a štede vrijeme-kada ubacite pločicu, pritisnete start, a vrata se sama otvaraju/zatvaraju. Manje stajanja, manje grešaka.
-Prodavnice velike količine? Automatski RTP roboti upravljaju utovarom, poravnavanjem i hlađenjem-plus povezuje se sa vašim sistemom upravljanja proizvodnjom. Čak ima stopu lomljenja pločice ispod 1 na 10.000. Vrijedi ulaganja ako vas zastoj košta novca.
Atmosfera: Čuvajte nečistoće (ako trebate)
Ako je vaš proces osjetljiv na kisik (poput dopinga poluvodiča), nemojte ovo preskočiti.
Polu-automatski i automatski RTP-ovi održavaju kisik ispod 1 ppm-super čistim. Takođe imaju 6 MFC (kontrolora protoka mase) za podešavanje mešavine gasa tačno onako kako vam je potrebno.
Desktop RTP oprema je ispod 3 ppm-dovoljno dobra za osnovne poslove, ali ne i za ultra-čiste procese.
Ako samo radite jednostavnu oksidaciju, 3 ppm je u redu. Ako pravite čips u kojem čak i sitna nečistoća ubija performanse, pokrenite se<1 ppm models.
Konačno: Ne zaboravite na praktične stvari
Čak i najbolja peć neće raditi ako ne odgovara vašem prostoru ili budžetu.
Prostor: prvo izmjerite, kupite kasnije
Laboratorija ili mala radnja? Desktop RTP je 910mm×860mm×695mm-približno veličine velikog stola.
Srednji objekat? Polu-Automatski RTP (8-inčni model) je 970mm×1550mm×2160mm-i dalje se može upravljati, ali će vam trebati posebno mjesto.
Velika fabrika? Automatski RTP-ov model s dvostrukom šupljinom-je 2100mm×2450mm×2200mm-pobrinite se da imate prostora za kretanje po njemu.
Sigurnost: Ne-Ne može se pregovarati (ali mi smo vas pokrili)
Svi naši modeli ispunjavaju SEMI S2 standarde-industrijskih pravila za sigurnost. Ali neki imaju dodatne pogodnosti:
Automatska RTP oprema ima jedno-taster za hitno zaustavljanje i upozorava vas na pregrijavanje ili curenje vode-kritično za rad 24/7.
Desktop RTP oprema ima zujalice i lampice upozorenja-jednostavne, ali efikasne za laboratorije u kojima neko možda žonglira sa više zadataka.
Still Stuck? Tu smo da pomognemo
Budimo iskreni-ponekad trebate razgovarati o tome. Ako ste na ogradi (recimo, birate između Polu-Automatskog i Automatskog za povećanje obima), možemo:
Prođite kroz svoj trenutni tok posla i kako biste ga mogli skalirati.
Pokažite vam demo kako bi model postupao s vašim specifičnim procesom.
Čak i prilagodite model (kao što je dodavanje dodatnih procesnih cijevi) kako bi odgovarao vašim potrebama.
Ne prodajemo "jedna-veličina-za{2}}sve"-već prodajemo peći koje rade za vaš posao. Bilo da testirate nove materijale ili pokrećete proizvodnu liniju, postoji model koji je pravi za vas.
Samo se obratite našem tehničkom timu-mi ćemo vam pomoći da ga pronađete.
