Pregled proizvoda
Nice-Tech nudi dva namjenska sistema za graviranje silikona za različite veličine pločice, oba zasnovana na ICP tehnologiji i prilagođena za masovnu proizvodnju IC.
12-inčni sistem (SES-12)
Fokusira se na 12-inch front end- procese (FEOL). Sastoji se od ICP komora za jetkanje i modula za prijenos, pokriva silikonsko graviranje, dielektrično jetkanje, gejt graviranje, W udubljenje i SADP, dizajnirano za visoko precizno oblikovanje logičkih i memorijskih uređaja.
8-inčni sistem (SES-8)
Više{0}}komorni sistem za 8--inčne fabrike, usredsređen na procese kapije. Osigurava manje od ili jednako 5% unutar -ujednačenosti nagrizanja pločice i pločice-, odličnu kontrolu čestica i podržava AA, STI, odstojnik i W udubljenje.
Prednosti
Široka pokrivenost procesa
Ovdje imamo dvije glavne postavke. Sistem od 12 inča preuzima sve vrste FEOL procesa, bez problema. Što se tiče onog od 8 inča? Fokusiran je na kapije i srodne procese i savršeno se uklapa sa čvorovima od 0,11 μm i više.
Visoka preciznost i stabilnost
Preciznost je mjesto gdje ovi sistemi blistaju. Model od 12-inča isporučuje vrhunsku-ujednačenost i selektivnost urezivanja – upravo ono što napredni procesi zahtijevaju. Verzija od 8 inča također ima svoje: nisko odstupanje uniformnosti, plus stroga kontrola čestica, tako da možete računati na dosljedne rezultate.
Masovna-proizvodnja i troškovna{1}}efikasnost
Najbolje od svega, oba su spremna za masovnu proizvodnju. 12-inča je napravljeno za velike-proizvodne linije, što ima smisla za velike-proizvodnje. 8 inča je ipak pametan izbor ako nadogradite kapacitet – štedi i prostor i troškove, što je uvijek plus za operacije.
Aplikacija
IC FEOL Manufacturing
12-inčni sistem za 12-inčne logičke/memorijske FEOL procese; 8-inčni sistem za graviranje kapija od 8 inča.
Napredni procesi
12-inčni sistem podržava SADP/W udubljenje; 8-inčni sistem radi za STI/spacer procese.
Capacity Upgrade
12-inča se integriše u velike fabrike; 8-inča pruža ekonomičnu podršku za srednje-male fabrike.
Parameters
|
Kategorija |
12-inčni sistem za graviranje silikona |
8-inčni sistem za graviranje silikona |
|
Kompatibilnost vafla |
12-inčni (300mm) IC wafers, prilagođeni za linije masovne proizvodnje |
8-inčne IC pločice; kompatibilan sa 0,11μm i naprednom tehnologijom čvorova |
|
Chamber Configuration |
ICP komore za jetkanje + modul za prijenos |
ICP komore za jetkanje + modul za prijenos; više-dizajn za masovnu proizvodnju |
|
Ključne mogućnosti procesa |
Silicijumsko jetkanje, dielektrično jetkanje, nagrizanje vrata, W udubljenje, SADP |
Gate grav, AA, STI, spacer grav, W udubljenje |
|
Etch Uniformity |
Superiorna kontrola uniformnosti (zadovoljava napredne standarde preciznosti čvorova) |
Manje ili jednako 5% unutar-vafera; Manje ili jednako 5% vafla-na-oblatnu |
|
Particle Control |
Stroga kontrola čestica za visok prinos proizvoda |
Odlična kontrola čestica za stabilnu masovnu proizvodnju |
|
Industrijska usklađenost |
Pogodno za proizvodnju 12- IC-a; u skladu sa standardima za masovnu proizvodnju poluvodiča |
Nezavisni optimizirani dizajn; odgovara velikom prostoru od 8 inča i zahtjevima troškova za nadogradnju kapaciteta |
FAQ
P: Koje veličine pločice podržavaju ova dva sistema?
O: 12-inčni sistem podržava 12-inčne (300mm) IC pločice, a 8-inčni sistem podržava 8-inčne IC pločice.
P: Koje osnovne procese pokrivaju?
O: Sistem od 12 inča pokriva silikonsko graviranje, dielektrično nagrizanje, SADP, W udubljenje, itd.; 8-inčni sistem se fokusira na graviranje vrata i podržava STI, spacer graviranje itd.
P: S kojim tehnološkim čvorovima su kompatibilni?
O: 12-inčni sistem se prilagođava čvorovima napredne tehnologije; 8-inčni sistem je kompatibilan sa naprednim čvorovima od 0,11 μm i više.
P: Da li su oba sistema pogodna za masovnu proizvodnju?
O: Da. Sistem od 12-inča odgovara velikim-proizvodnim linijama, dok sistem od 8-inča štedi prostor i isplativ za masovnu proizvodnju.
P: Koja je uniformnost graviranja 8-inčnog sistema?
O: Ima manje od ili jednako 5% unutar-ujednačenosti vafla i manje od ili jednako 5% ujednačenosti vafla-na-vafela.
Popularni tagovi: Silicijumski sistem za graviranje, proizvođači, dobavljači sistema za silikonsko graviranje u Kini
