Pregled proizvoda
Nice-Tech CV600/CV700 serije su MOCVD uređaji visoke{3}}serijske-proizvodnje za epitaksijalni rast složenih poluvodiča, koji usvajaju vlasničku planetarnu-satelitsku tehnologiju dvostruke rotacije za ostvarivanje više-rasta vafla s jedno{-ujednačenim-vaferom Odlikujući se vodećom efikasnošću korištenja izvornog plina putem optimiziranog dizajna ubrizgavanja i transporta plina, oprema je SEMI-S2/SEMI-S6 certificirana, jednostavna za rukovanje i održavanje, te podržava fleksibilno prilagođavanje. CV700 je nadograđeni model velikog{16}}kapaciteta, koji formira gradijentnu liniju proizvoda kako bi se zadovoljile različite zahtjeve masovne proizvodnje globalnih industrijskih korisnika i istraživačkih institucija.
Prednosti
1. Superiorna ujednačenost rasta: Planetarna-dvostruka rotacija satelita osigurava ravnu površinu materijala, oštre difrakcijske vrhove i strme sučelje rasta sa odličnom uniformnošću.
2. Visoka efikasnost korišćenja izvornog gasa: Optimizirani dizajn plina povećava iskorištenje izvornog plina, idealno za{0}}osjetljivu epitaksijalnu masovnu proizvodnju.
3. Visoka sigurnost i pouzdanost: SEMI-S2/SEMI-S6 certificiran, sa optimiziranom strukturom za lak rad, jednostavno održavanje i dug vijek trajanja.
4. Širok raspon rasta materijala: Pokriva epitaksijalni rast mainstream 2. i 3. -generacije poluvodičkih materijala za više{3}}proizvodnju složenih poluvodiča.
5. Fleksibilna konfiguracija i prilagođavanje: Bogate opcije veličine podloge, podrška za prilagođenu nadogradnju plinskih krugova, termostatskih kupki i drugih osnovnih komponenti.
6. Precizna kontrola procesa: Standardno sa nezavisnom kontrolom temperature satelitske ploče, in-nadgledanjem R/T na licu mjesta i više-ubrizgavanjem plina za visoku-preciznost, stabilan rast.
Prijave
Ova serija omogućava epitaksijalni rast mainstream 2./3.-generacije poluvodičkih materijala (arsenidi, fosfidi, nitridi, SiC, itd.), a pripremljeni tankoslojni materijali se primjenjuju u proizvodnji poluvodičkih, optičkih i energetskih uređaja. Opslužuje osnovna terminalna polja uključujući novu energiju, prijenos energije, 5G/aerospace komunikaciju,-brzi transport i inteligentnu proizvodnju, te je ključna oprema za masovnu proizvodnju treće{7}}generacije poluvodičkih energetskih uređaja, VCSEL i solarnih ćelija.
Parameters
|
Kategorija |
Ključne specifikacije |
CV600 |
CV700 |
|
Konfiguracija podloge |
Dostupne kombinacije vafla (jezgrene specifikacije) |
12x4", 6x6", 8x6", 5x8" |
15x4", 8x6", 9x6", 6x8" |
|
Standardni plinski krug (materijali na bazi As/P-) |
MO izvorni gasovod |
8 redova (6 standardnih + 2 dvostrukih razrjeđenja) |
|
|
Vodovi za hidran gas (doping uključen) |
4 reda (2 standardna + 2 dvostruka razrjeđenja) |
||
|
Standardni plinski krug (nitridni materijali) |
MO izvorni gasovod |
6 linija (5 standardnih + 1 dvostrukih razrjeđenja) |
|
|
Vodovi za hidran gas (doping uključen) |
3 reda (2 standardna + 1 dvostruka razrjeđenja) |
||
|
Osnovni standardni hardver |
Osnovne funkcionalne komponente |
Pretinac za rukavice bez suvog kiseonika-, kontrola temperature na plafonu, RF komplet za grejanje, nezavisna kontrola temperature satelitske ploče, in-in-situ R/T nadzor, višeslojni mehanizam za ubrizgavanje gasa |
|
|
Tipka Opciona konfiguracija |
Osnovne stavke za nadogradnju |
1. Robotska ruka za satelitski prijenos ploča, in{1}}nadgledanje krivljenja na licu mjesta |
|
|
Tipične performanse procesa |
Ujednačenost dopinga |
GaAs:Si Manje ili jednako 0,87%; GaAs:C Manje ili jednako 4,53% |
|
|
Ujednačenost komponenti |
GaInP/AlGaInP MQW std Manje ili jednako 0,02%; InGaAs/AlGaAs MQW std Manje ili jednako 0,022% |
||
|
Ujednačenost debljine |
GaInP bulk std Manje ili jednako 0,6% |
||
|
Performanse rasutih materijala |
GaAs rasuti: koncentracija BG ＜1×10¹⁵cm⁻³, pokretljivost 7210 cm²/V-s |
||
|
InP bulk: koncentracija BG na samo 1,45×10¹³cm⁻³ |
|||
FAQ
FAQ
P: Koju osnovnu tehnologiju usvaja serija?
O: Planetarna-dvostruka rotacija satelita, sa uniformnošću jednog-vafera-nivoa za rast više-vafera.
P: Koje materijale može uzgajati?
O: Poluprovodnici 2.-gen (arsenidi/fosfidi) i 3.-gen (nitridi/SiC).
P: Koja je razlika između CV600 i CV700?
O: CV700 je model velikog{1}}kapaciteta sa većim kapacitetom podloge; osnovne specifikacije su konzistentne.
P: Da li je oprema certificirana za sigurnost?
O: Da, ima SEMI{0}}S2/SEMI-S6 međunarodne certifikate.
P: Da li podržava prilagođavanje?
O: Da, plinski vodovi, komponente za nadzor, termostatske kupke mogu se prilagoditi/nadograditi.
P: Koje su prednosti njegove masovne proizvodnje?
O: Vodeća upotreba izvornog gasa, odlična uniformnost, jednostavan rad/održavanje.
P: Koji hardver je standardno opremljen?
O: Pretinac za rukavice-bez kisika, in-nadzor R/T na licu mjesta, nezavisna kontrola temperature satelitske ploče, RF komplet za grijanje, itd.
P: Koja su njegova glavna područja primjene?
O: Nova energija, 5G/aerospace,-brzi transport, pametna proizvodnja; jezgro za poluvodičke energetske uređaje/VCSEL/solarne ćelije 3.{3}}generacije.
Popularni tagovi: industrijski mocvd sistem, Kina industrijski mocvd sistem proizvođači, dobavljači
