Pregled proizvoda
Automatska RTP oprema kompatibilna sa 8-12 inčnim pločicama, sa jednim/dvostrukim- dizajnom i posebno dizajnirana za masovnu proizvodnju. Integrirajući robote i druge komponente, postiže potpuno automatizirano punjenje, žarenje i hlađenje pločica. Može se povezati sa sistemima upravljanja proizvodnjom i podržava različite procese za jednu bačvu za vafle. Uz preciznu kontrolu temperature i stabilan rad (stopa lomljenja pločice manja ili jednaka 1/10000), uključuje višestruke sigurnosne zaštite i pogodan je za procese žarenja visoke preciznosti u poluvodičkim i drugim poljima.
Karakteristike
Imamo opcije opreme koje pokrivaju različite širine i broj komora, a sve pružaju dosljedne performanse u svim ključnim parametrima.
Radi sa postavkama otvorene kasete i SMIF-a, upravljajući cijelim procesom automatski-od mapiranja i poravnanja do prijenosa pločica, žarenja i hlađenja.
Softver vam omogućava da odaberete unaprijed postavljene recepte prilagođene pojedinačnim oblatnama u istoj kaseti, dok vas održava ažuriranim sa-statusom obrade u stvarnom vremenu.
Ovaj potpuno automatizovani sistem se neprimetno integriše sa vašom postojećom EAP/MES infrastrukturom radi lakše koordinacije toka posla.
Tokom instalacije i otklanjanja grešaka, naši-inženjeri nakon prodaje će biti na-lokaciji kako bi pružili praktičnu-podršku i riješili sve probleme koji se pojave.
Prednosti
- Koristeći dvostruke infracrvene halogene lampe za grijanje, zajedno sa brzim hlađenjem dušikom, sistem se može pohvaliti efikasnom i stabilnom toplotnom cirkulacijom.
- Namjenski dizajn grupiranja lampi osigurava ujednačeniju temperaturu u cijelom području obrade.
- Ugrađeni-algoritam PID kontrole omogućava podešavanje-u realnom vremenu snage lampe, održavajući preciznu kontrolu temperature tokom cijelog procesa.
- Upravljanje pristupom korisnika na tri-nivoa osigurava praktičnu i sigurnu kontrolu informacija. Glavni softverski interfejs prikazuje ključne parametre kao što su protok gasa, temperatura i nivo vakuuma u realnom vremenu, pružajući jasan pregled statusa.
- Sistem automatski pohranjuje sve podatke{0}}u vezi sa procesom radi lakšeg budućeg praćenja.
- Sadrži sveobuhvatan mehanizam zaštite od anomalija koji odmah aktivira zaštitu nakon otkrivanja kvara, uključujući pregrijavanje (vodom hlađene komore od aluminijumske legure veće od ili jednake 70 stepeni), abnormalna očitavanja termoelementa, nenormalnu snagu grijanja, otključana vrata peći, prekomjeran protok vode, nedovoljan protok vode, nedovoljan protok vode.
- Funkcija zaustavljanja u nuždi se može aktivirati jednim dugmetom, odmah prekidajući sve procese i isključujući izvor toplote.
Parameters
|
Model |
RTP-200 |
RTP-300 |
|
Veličina oblatne |
8 inča i ispod 12 inča i manje |
8 inča i ispod 12 inča i manje |
|
Chamber Number |
1 |
2 |
|
Ubacite broj kasete |
2 |
2 ili 3 |
|
Učitajte kasetu Metoda |
SMIF ili Open Cassette |
|
|
Veličina |
1600mm×2450mm×2200mm (W×D×H) |
2100mm×2450mm×2200mm (W×D×H) |
|
Temperaturni opseg |
RT~~800 stepeni (kontrolisano termokopom) 500 stepeni ~1250 stepeni (kontrolisano pirometrom) |
RT~~800 stepeni (kontrolisano termokopom) 500 stepeni ~1250 stepeni (kontrolisano pirometrom) |
|
Max Heating Rate |
150 stepeni /s---Samo oblatne 20 stepeni /s---SiC nosač 30 stepeni /s --- Grafitni nosivi premaz SiC |
150 stepeni /s---Samo oblatne 20 stepeni /s---SiC nosač 30 stepeni /s --- Grafitni nosivi premaz SiC |
|
Ujednačenost temperature |
Manje ili jednako ±3 stepena @ Manje ili jednako 600 stepeni Manje ili jednako ±0,5% @ >600 stepeni |
Manje ili jednako ±3 stepena @ Manje ili jednako 600 stepeni Manje ili jednako ±0,5% @ >600 stepeni |
|
Temperaturna ponovljivost |
±1 stepen |
±1 stepen |
|
Broj lampi/SCR |
33 kom / 10 kom |
45 kom / 16 kom 55 kom / 24 kom |
|
Max MFC |
6 |
6 |
|
Najniži pritisak |
30mTorr |
30mTorr |
|
Leak Rate |
10mTorr/min |
10mTorr/min |
|
O2Postotak |
<1 ppm |
<1 ppm |
|
Automatski |
OCR+Robot (Dual Arm)+Prsti (Vakum/Bernoulli)+Aligner+Rashladna stanica |
|
|
WPH (predviđanje) |
5 |
|
|
Uptime |
＞92% |
|
|
Srednje vrijeme za čišćenje (MTTC) |
Manje ili jednako 6 sati |
|
|
Srednje vrijeme za popravak (MTTR) |
Manje ili jednako 4 sata |
|
|
Srednje vrijeme između kvarova (MTBF) |
Veće ili jednako 200 sati |
|
|
Srednja vrijednost oblata između loma (MWBB) |
Manje ili jednako 1 na 10.000 oblatni |
|
|
maks./pros. snaga |
90/ 60 Kw(ATS-8) 100/ 80 Kw(ATS-12) |
180/ 120 Kw(DTS-8) 200/ 160 Kw(DTS-12) |
|
Voltage |
380V/ 60HZ/ 3 faze 5 žice |
380V/ 60HZ/ 3 faze 5 žice |
|
Kontrolni metod |
PC kontrola |
PC kontrola |
FAQ
Da li je automatska RTP oprema kompatibilna sa 8/12-inčnim pločicama? Da li skaliranje do 12-inčne proizvodnje zahtijeva zamjenu opreme?
Potpuno kompatibilan. Povećanje zahteva samo podešavanja softverskih parametara; nije potrebna zamjena opreme, smanjujući troškove.
Može li se integrirati sa postojećim EAP/MES sistemima? Hoće li to uticati na proizvodnu liniju?
Moguća je neometana integracija. Inženjeri će obezbijediti-otklanjanje grešaka na lokaciji, poboljšavajući efikasnost i konzistentnost proizvodne linije.
Mogu li se različiti procesi podesiti za istu bačvu za vafle? Da li je operacija komplikovana?
Podržava "više procesa po bačvi." Softverski interfejs omogućava lak izbor i podešavanja, ne zahtevajući dodatnu obuku.
Postoji li sigurnosna zaštita u slučaju nužde? Hoće li oštetiti pločice ili povrijediti osoblje?
Ima zaustavljanje u nuždi i zaštitu za automatsku detekciju rizika kako bi zaštitili i pločice i osoblje.
Certifikacija
◆ Certifikacija usklađenosti SEMI S2
Popularni tagovi: automatska rtp oprema, Kina automatski rtp oprema proizvođači, dobavljači
