Pregled proizvoda
Customized Solution multi-funkcionalni ion implantator je prilagođena-platforma za ionsku implantaciju. Namijenjena istraživačkim institutima, univerzitetima i malim-serijskim specijalnim-procesnim proizvodnim linijama poluvodiča, ova oprema podržava i plinovite i čvrste izvore jona. Ciljna komora se može konfigurirati s visoko-temperaturnim i niskim-temperaturnim načinima implantacije. Veoma je prilagodljiv za modifikaciju materijala, napredna-istraživanja materijala, pilot-proizvodnju poluprovodnika i specijalne-implantacije uzoraka za nepravilne male-podloge. Platforma podržava personaliziranu prilagodbu hardvera i funkcija prema-specifičnim zahtjevima procesa.
Prednosti
Visoko prilagodljiva arhitektura: Fleksibilna konfiguracija izvora jona, ciljne komore, držača pločice i modula{0}}linija snopa kako bi odgovarali različitim ne-standardnim zahtjevima procesa. Za ciljnu komoru su dostupni i visokotemperaturni i kriogeni načini implantacije.
Kompatibilnost sa dvostrukim-modelom-izvora jona: Podržava rad plinovitog izvora i čvrstog izvora, pokrivajući širok spektar vrsta iona implantata za nauku o materijalima i istraživanje i razvoj poluvodiča.
Široka prilagodljivost podloge: Radi sa standardnim 4-/6-inčnim pločicama, kao i sa nepravilnim malim komadima, eliminišući ograničenja na faktor oblika uzorka za laboratorijska istraživanja.
Široki raspon{0}}podešavanja temperature wafera: Podržava temperaturu procesa od sobne temperature do 550 stepeni, a opciona rashladna ciljna komora se može konfigurirati na zahtjev za eksperimente s materijalom osjetljivim na temperaturu{2}}.
-Prijatan za R&D scenarije: Pojednostavljeno podešavanje recepta, praktično otklanjanje grešaka-line i fleksibilno serijsko ili-ubrizgavanje jednog uzorka, dobro-pogodno za akademska istraživanja i male{4}}proizvodnje pilota.
Prijave
Akademsko istraživanje i nastava: Univerzitetske laboratorije, materijal istraživačkog instituta-naučni eksperimenti
Modifikacija materijala: ionska{0}}modifikacija metala, keramike, polimera i novih funkcionalnih materijala
Specijalna pilot proizvodnja poluprovodničkih uređaja: mala-serijska probna proizvodnja-poluprovodničkih uređaja
Prilagođena posebna-ugradnja za uzorke nepravilnih malih-veličina
Parameters
|
Stavka |
Specifikacija |
|
Veličina oblatne / uzorka |
6 inča, 4 inča ili nepravilni mali komadi |
|
Energetski raspon (jednom punjenju) |
30-200 keV |
|
Implant Species |
P, B, As, Fe, H, He i drugi prilagođeni joni |
|
Procesna temperatura vafla |
RT-550 stepeni; rashladna ciljna komora opciono na zahtjev |
FAQ
P: Za koje kupce je uglavnom prilagođen multifunkcionalni implantator prilagođenog rješenja?
O: Orijentisan je na univerzitete, naučno-istraživačke institute i pilot proizvodne linije za poluprovodničke poluprovodnike malog obima. Fokusira se na istraživanje i razvoj i probni rad u malim serijama, a ne na masovnu proizvodnju velikih količina mainstream IC fabrika.
P: Može li ova mašina obraditi nestandardne nepravilne male uzorke?
O: Da. Osim standardnih vafla od 4 inča i 6 inča, podržava nepravilne uzorke male veličine. Držači uzoraka mogu se prilagoditi prema dimenzijama uzorka kupca.
P: Koje temperaturne opcije su dostupne tokom implantacije?
O: Standardna konfiguracija podržava RT 550 stepeni visokotemperaturnu implantaciju. Rashladna ciljna komora za proces niske temperature može se dodati kao prilagođena opcija.
P: Koje modove izvora jona podržava oprema?
O: Kompatibilan je sa izvorom plinovitih jona i izvorom čvrstih jona, pokrivajući B, P, As, Fe, H, He i druge vrste jona; dodatne vrste jona mogu se realizovati putem prilagođene modifikacije.
P: Može li sarađivati s drugim implantatorima SEMICORE ZKX proizvodnje?
O: Da. Može raditi zajedno sa CIP serijom srednje struje, CIC serijom visoke struje, CIE 8000 visokoenergetskim implantatorima. Prilagođena platforma se može koristiti za prethodno istraživanje i istraživanje receptura prije masovne proizvodnje na opremi za proizvodnju.
P: Koje usluge se mogu dobiti za ovu prilagođenu platformu?
O: SEMICORE ZKX obezbeđuje prilagođavanje šeme, instalaciju opreme i puštanje u rad, snabdevanje rezervnim delovima, tehničku podršku na licu mesta i pomoćne usluge istraživanja procesa za projekte orijentisane na istraživanje.
Popularni tagovi: sic ion implantator, Kina proizvođači, dobavljači sic ion implantata
